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罗茨泵与干式螺杆泵的对比分析

罗茨泵与干式螺杆泵均属无油真空泵,但适用场景不同。罗茨泵优势在于抽速大、成本低,适用于宽压强范围(10⁻¹-1Pa)抽气,如食品包装、化工蒸馏;干式螺杆泵极限真空更高(达10⁻³Pa),耐腐蚀性强,适用于半导体、锂电池等需抽除腐蚀性气体的场景。选型时需根据工艺需求:若需快速抽气且成本敏感,选罗茨泵;若需高真空且耐腐蚀,选干式螺杆泵。

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